| |
|
|
 |
Function & Features |
|
| |
- 자동화 케미컬 디캡 장비
- 고객이 원하는 기능과 사양에 맞춰 시스템 구성
> 패키지 Full Decap 시스템
> 패키지 Hole Decap 시스템
> 웨이퍼(다이) Decap (Delayer) 시스템
> 싱글/듀얼 라인 구성 가능
(듀얼 라인: 라인별 콘트롤러 구축)
> 사용자가 원하는 케미컬 적용 가능
> 사용자 맞춤형 Carrier Jig
> 멀티 샘플 적용 가능
- 작업자의 안전, 편리성을 확보하는 장비
> 케미컬 Supply, Drain 자동화
> 이중 배기 시스템(Bath배기, Room배기)
> Safety Interlock 시스템
> Bath Cleaning 기능 적용
- 자체 개발 Decap SW프로그램
> 사용자가 필요로 하는 다양한 Recipe대응 가능
- Glove Box장치 자체 제작(옵션)
> 케미컬 공급박스 일체형 가능
|
| |
 |
|
|
|
