AUTO DECAP SYSTEM
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MIS Wet Etch  
 
- 자동화 케미컬 디캡 장비
- 고객이 원하는 기능과 사양에 맞춰 시스템 구성
  > 패키지 Full Decap 시스템
  > 패키지 Hole Decap 시스템
  > 웨이퍼(다이) Decap (Delayer) 시스템
  > 싱글/듀얼 라인 구성 가능
     (듀얼 라인: 라인별 콘트롤러 구축)
  > 사용자가 원하는 케미컬 적용 가능
  > 사용자 맞춤형 Carrier Jig
  > 멀티 샘플 적용 가능

- 작업자의 안전, 편리성을 확보하는 장비
  > 케미컬 Supply, Drain 자동화
  > 이중 배기 시스템(Bath배기, Room배기)
  > Safety Interlock 시스템
  > Bath Cleaning 기능 적용

- 자체 개발 Decap SW프로그램
  > 사용자가 필요로 하는 다양한 Recipe대응 가능

- Glove Box장치 자체 제작(옵션)
  > 케미컬 공급박스 일체형 가능

 
 
 
 
   
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