반도체 분석 장비
Auto Decap System · MDS Series
Auto Decap System
발연질산·KOH·불산 등을 적용한 자동화 케미컬 디캡 장비입니다. 고객이 원하는 기능과 사양에 맞춰 시스템을 구성하는 커스터마이징 솔루션을 제공합니다.
- 패키지 Full Decap / Hole Decap 시스템
- 웨이퍼(다이) Decap(Delayer) 시스템
- 싱글 / 듀얼 라인 구성 가능
- 멀티 샘플 및 사용자 지정 케미컬 적용
- 케미컬 디캡 관련 자동화 Customizing 대응
Function & Features
기능 및 특징
- 자동화 케미컬 디캡 장비
- 고객이 원하는 기능과 사양에 맞춰 시스템 구성
- 패키지 Full Decap 시스템
- 패키지 Hole Decap 시스템
- 웨이퍼(다이) Decap (Delayer) 시스템
- 싱글 / 듀얼 라인 구성 가능 (듀얼 라인 : 라인별 콘트롤러 구축)
- 사용자가 원하는 케미컬 적용 가능
- 사용자 맞춤형 Carrier Jig
- 멀티 샘플 적용 가능
- 작업자의 안전, 편리성을 확보하는 장비
- 케미컬 Supply, Drain 자동화
- 이중 배기 시스템 (Bath 배기, Room 배기)
- Safety Interlock 시스템
- Bath Cleaning 기능 적용
- 자체 개발 Decap SW 프로그램
- 사용자가 필요로 하는 다양한 Recipe 대응 가능
- Glove Box 장치 자체 제작 (옵션)
- 케미컬 공급박스 일체형 가능
Specification
제품 사양
| 시리즈 | MDS Series (MDS-4000 / 5000 / 4100 / 5200) |
|---|---|
| 방식 | Auto Dipping & Drop 자동화 |
| 케미컬 | 발연질산 · KOH · 불산 등 |
| 라인 구성 | 싱글 / 듀얼 선택 |
| 대응 | 고객 맞춤 커스터마이징 |