케미컬 자동공급 장비
Auto Chemical Supply · MAS-3000
Auto Chemical Supply System
반도체 분석 공정의 최대 안전 리스크인 고위험 케미컬의 취급·공급·세정 전 과정을 완전 자동화한 차세대 케미컬 자동공급 장비입니다.
- All 내화학성 Frame 밀폐 및 배기 장치 구성
- Chemical 용기 하부 투입 : 최저 높이 핸들링으로 파손 안전성 확보
- 투입 후 전체 공정 차폐 및 격리 Room 내 자동 작업
- Chemical 용기 개별 Room 내 자동 세척 및 건조
- 용기 Cap Open & Close 자동화
- 회전 공급으로 잔량 최소화 및 Fume 흡수 최적화
Specification
제품 사양
| 모델명 | MAS-3000 |
|---|---|
| 공정 | 케미컬 취급·공급·세정 전 과정 자동화 |
| 안전 | 내화학성 밀폐·배기·격리 Room |
| 세척 | 용기 내·외부 전체 자동 세척·건조 |
Key Features
주요 기능
01
Chemical 공급 공정 자동화
All 내화학성 Frame 밀폐 및 배기 장치 구성
02
작업자의 유해물질 취급 및 사용안정성 확보
Chemical 용기 하부 투입 : 최저 높이 핸들링으로 작업 중 파손 안전성 확보 · 투입 후 전체 공정 차폐 및 격리 Room 내 자동 작업
03
Chemical 자동 공급 및 용기 세척 자동화
Chemical 용기 자동 이송 후 개별 Room 내 자동 세척 및 건조 기능 · Chemical 용기 내·외부 전체 세척 기능
04
Chemical 용기 Cap Open & Close 자동화
Chemical 용기 회전 공급으로 잔량 최소화 및 Fume 흡수 최적화 · Chemical 용기 공정 후 원위치 자동 배출 및 내부 대기